一、项目名称：精密器件蒸镀系统

二、项目编号：S2021043

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021传真：0512-67165076

联系人：丁老师电话：0512-67504198，67504359

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：杨老师电话：18051879103

电子邮箱：fuyang@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

精密器件蒸镀系统1套

（一）主要技术参数

1.极限真空：优于3×10-5Pa（新设备）

2.漏率：6.7×10-8Pa•L/S

3.工作真空：5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于20分钟（新设备冷态下）

4.系统保压：系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa

5.样品尺寸：100mm×100mm

6.样品托尺寸：106mm×116mm

7.样品架与源表面距离：290mm～340mm连续可调

8.蒸发源：金属源×4套,有机×2套

9.真空室开腔形式：手动内外大开门结构

10.膜厚探头：进口水冷4只，2只高探头，2只低探头

11.真空获得机组：KYKY1200C+川北CF200+飞越VRD-30

12.真空计测量范围：测量范围从大气至10-9mbar

13.蒸发电源：精密蒸发金属电源二套（国产一套，进口一套），有机蒸发电源一套

14.样品架旋转（0～60rpm）

15.软件：先进的软件控制，金属蒸发闭环反馈控制

16.膜厚测量：进口四通道同时显示控制

（二）配置要求

该设备按外观结构可分为六部分：蒸发室、真空获得系统、真空测量系统、工作台、手套箱（用户提供）组成。

1.蒸发室与真空获得

蒸发室由蒸发台、样品架、挡板、观察窗等组成。

1.1蒸发室一套

方形结构，内尺寸约420mm×400mm×550mm。内外开门结构。真空室侧板开孔，安装分子泵系统。底板上安装蒸发电极。真空室顶部安装样品架。

1.2DN100观察窗三套

尺寸为DN100mm。材质为石英玻璃，内部安装衬玻璃一片。用于拆卸清洗。

1.3DN100手动观察窗挡板三套

尺寸为DN100，磁耦合密封运动结构。手动开关。用于遮挡DN100封接观察窗。

1.4涡轮分子泵一套

1.5机械泵一套

1.6电磁压差阀一套

1.7气动截止阀二套

1.8前级阀门三通组件一套

1.9液压波纹管路三套

1.10气动板阀一套

1.11手动放气阀一套

1.12工作台一套

2.核心部件

2.1蒸发台一套

蒸发台安装于真空室底部，（4金属＋2有机）。布置4只水冷电极，可以安装钽炉，钨舟，钨丝。蒸发台上安装6套蒸发源电动旋转挡板。最大承受工作电流250A以上。

2.2蒸发源电动旋转挡板六套

2.3样品架与挡板一套

样品架为旋转升降方式，转速0～60转/分连续可调。定位0.01°，转速：0～60。样品架下方为快卸接口。安装尺寸100×100mm。一侧安装气动磁耦合大挡板。样品架可以电动升降，升降距离±20mm。

2.4进口膜厚探头四套

水冷管膜厚探头，安装在真空室底板或侧板。可以安装标准6MHz晶振片。

3.电控与测量系统一套

3.1电器控制一套

工作台上面安装着电控拉箱。由真空计、中央控制单元、金属加热电源、分子泵电源、总电源部分组成。膜厚仪安装在手套箱侧面。

3.2PLC+工控机一套

控制内容：预抽，前级，机械泵，分子泵运行。样品台旋转控制，按钮控制。设备报警与急停。膜厚仪的闭环蒸发，金属蒸发速率的闭环控制。

3.3分子泵电源一套

3.4国产精密电源一套。

开关式电源。一台电源可以两只金属舟切换使用。“启动”，“停止”按钮控制该箱体的总开关。可以手动调节输出，也可以用蒸发速率控制电源输出。从左侧的电压表，电流表可以看到实际的输出电压，电流数值。

3.5进口精密电源一套

3.6有机蒸发电源一套

采用自动控温方式控制。

3.7空开手动切换盘二套

用于蒸发电源的手动切换

3.8真空计一套

测量范围：1*10-9mbar～1000mbar。

3.9膜厚仪一套

四通道同时显示控制。

4.手套箱一套（由用户提供）。

与用户现有手套箱对接。

5.掩模版不少于10套

（三）质保期不少于3年。

（四）报价要求

若采购需求未发生实质性变动（由磋商小组进行认定），本项目将不再组织二次报价，即以供应商响应文件中的报价为最终报价。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足竞争性磋商文件要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应。

（2）所提供软件不满足竞争性磋商文件技术要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣5分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（5分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（10分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．供应商综合实力（2分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它（3分）

（1）磋商响应文件质量（1分）。根据磋商文件的规范性、完整性等情况综合评定。

（2）其它优惠措施等（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）在中国境内注册成立的企业，具有独立法人资格。

（二）经营范围包含报价产品。

（三）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1.磋商响应资料与页码对照表。

2.磋商响应函（原件）。

3.响应基本情况一览表（原件）。

4.详细配置清单（原件）。

5.技术规格偏离表（原件）。

6.公司简介（包括公司性质、公司规模、公司业绩、公司荣誉、公司资质、财务状况等，原件）。

7.资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（非投标产品生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8.服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9.供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1.“磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章；

2.正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件2），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2021年5月14日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰邮寄（建议优先采用）

1.寄达时间：2021年5月19日9：00前；

2.收件人信息：

收件人：丁悦

联系方式：13862165427

收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交

1.现场递交时间：2021年5月19日8：30～9：00

2.现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2021年5月19日9：00。

十四、磋商时间：2021年5月19日9：00。